渗氦型标准漏孔VTL-A型

渗氦型标准漏孔是利用氦气对石英大多数玻璃或四氟乙烯有高的渗透性这一特性制作。

关键词：标准漏孔 | MPCVD | 电容薄膜规真空计 | 高低真空校准装置 | 氦漏孔校准装置

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产品介绍

渗氦型标准漏孔是利用氦气对石英大多数玻璃或四氟乙烯有高的渗透性这一特性制作。此类型漏孔对污染不敏感；长时间内漏率稳定；漏率可以做得很小。渗氦型标准漏孔的充装气体为氦气，其漏率范围一般在10-5-10-13Pa·m3/s之间。此外，渗氦型标准漏孔的示值允许偏差为±15%，温度补偿约为3%/°C，并且具有优异的抗堵塞能力和长时间内漏率稳定的特性，出口阀门为手动(选配)，接口为KF25/M14*1.5(内)或定制，出口为真空，可重复充气。

年衰减率根据漏率的不同而有所差异，例如，对于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰减率小于或等于10%/y;对于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰减率小于或等于3%/y;以此类推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰减率小于或等于0.1%/y 。10-7Pa·m3/s量级以下的漏孔，正常情况下是不需要关闭出口阀门的，但由于客户不清楚漏孔的结构，通常会关闭阀门。对于渗氦型漏孔，长时间关闭阀门会积攒一定的氦气，使得渗透元件的边界条件遭到破坏，使用时短时间内漏率值会偏大，打开阀门经过一段时间(24小时)平衡后,漏率值会恢复。
渗氦型标准漏孔的应用包括氦质谱检漏仪校准、作为氦质谱检漏仪内部标准漏孔、氦质谱检漏仪最小可检漏率校准以及实际漏孔漏率的确定等。

渗氦漏孔技术参数一览表

抗衰抗震、漏率稳定、不易堵塞

（E-5~E-13）Pa.m3/s

VTL

-5A

-6A

-7A

-8A

-9A

-10A

-11A

-12A

-13A

漏孔范围

10^-5Pa·m³/s

10^-6Pa·m³/s

10^-7Pa·m³/s

10^-8Pa·m³/s

10^-9Pa·m³/s

10^-10Pa·m³/s

10^-11Pa·m³/s

10^-12Pa·m³/s

10^-13Pa·m³/s

充装气体

氦气（He）

示值允许偏差

±15%

±20%

±30%

温度补偿

石英玻璃约3%/℃，四氟乙烯约2.5%/℃

漏孔元件

石英玻璃，四氟乙烯

石英玻璃

抗堵塞能力

优异

稳定性

长时间内漏率稳定

阀门

手动（选配）

接口

KF25/KF16/CF/M14*1.5（内）或定制

出口

真空

氦室容积

1000mL

300mL

150mL/200 mL

充气压力

60atm

20~30atm

1atm

年衰减

<10%

<5%

<2%

<1%

校准证书

东贝CNAS实验室或第三方证书